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半導體外延檢測

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儀器型號：瑞士ARL公司X'TRA

儀器功能及附件: 高溫裝置：室溫-1500℃；低溫裝置： -190-300℃；薄膜裝置　　晶粒度、結晶度、晶格結構指標化、物相檢索、定量分析計算等。

儀器使用范圍: X射線衍射是研究物質微觀結構的重要手段之一。廣泛應用于物理學、化學、地學、藥學、冶金學、高分子科學、環保、考古、生命科學以及材料科學等。可以分析粘土礦物、合金、陶瓷、食品、藥物、生物材料、建筑材料、高分子材料、半導體材料，超導材料、納米材料，超晶格材料和磁性材料等物相和晶體結構，材料可以是單晶體、多晶體、纖維、薄膜等片狀、塊狀、粉末狀等各種固體。

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