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儀器型號(hào)：TOF.SIMS 5

廠家：德國(guó)ION-TOF GmbH

質(zhì)量范圍：大于10000原子量單位

分辨率：空間分辨率（橫向小于100納米，縱向小于1納米）

技術(shù)參數(shù)：

1. 并行探測(cè)所有離子，包括有機(jī)和無(wú)機(jī)分子碎片。

2. 無(wú)限的質(zhì)量探測(cè)范圍（實(shí)際測(cè)量中大于10000原子量單位）。

3. 完全透過(guò)率下實(shí)現(xiàn)高的質(zhì)量分辨率。

4. 極高的橫向和縱向空間分辨率（橫向小于100納米，縱向小于1納米）。

5. 探測(cè)靈敏度可達(dá)ppm或ppb量級(jí)。

儀器特點(diǎn)：

1. 樣品尺寸可以達(dá)到100毫米，200毫米，和300毫米。

2. 五維樣品操作臺(tái)

3. 多種可選擇離子源：鎵, 銦, 金, 鉍, 氧，銫，氬，氙，SF5, C60...

4. 對(duì)分析室樣品可加熱和冷卻控制。

5. 進(jìn)樣室可加熱/冷卻精確控溫。能測(cè)量易揮發(fā)樣品甚至液體。

6. 低溫樣品傳輸。

7. 可實(shí)現(xiàn)銫和氙的混合濺射。

8. 可實(shí)現(xiàn)單點(diǎn)成分分析，表面成分成像，深度剖析，三維分析等多種模式。

9. 采用樣品電荷補(bǔ)償，可以測(cè)量絕緣樣品。