清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺
掃描速度范圍：± 300 mm/s
速度精度：± 0.5%（正弦波驅(qū)動模式）；± 1.5%（三角波驅(qū)動模式）
速度線性：優(yōu)于0.15%
高低溫系統(tǒng)：
12K~400K
解譜程序：
MossWinn 4.0
測試Fe譜、Al譜自旋、價態(tài)，常溫低溫12K，含F(xiàn)e量3%以上，粉末100mg以上，薄膜φ10*0.7
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