清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺(tái)
JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡
JEM-ARM200F是一臺(tái)具有亞埃分辨率的掃描透射電子顯微鏡，配備有電子束球差校正系統(tǒng)、X-射線能譜儀和電子能量損失譜儀。可同時(shí)進(jìn)行原子分辨率的成像和化學(xué)份分析。
掃描透射模式分辨率：暗場(chǎng)像 0.08 nm 明場(chǎng)像 0.14 nm
透射模式分辨率：點(diǎn)分辨率 0.19 nm 信息分辨率 0.10 nm
放大倍率：掃描透射模式 100 to 150,000,000X 透射模式 50 to 2,000,000X
光斑尺寸：最小直徑0.10nm
X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀
流變儀
