清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
德國WinsamVarioⅢ超聲波掃描
電子元器件等內部缺陷檢查
1、高分辨的X/Y掃描
2、掃描區域200mm×200mm，300mm×300mm
3、掃描分辨率1um～60mm
4、有 A，B，C，D，G，X 掃描模式
5、最大掃描速度：大約10 秒 / 每幅圖像
6、最小門限寬度和時延：1ns；最小門限位置：2ns；最大門限位置：60?s
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