清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺
1. 檢測陶瓷或封閉的電子部件中氣體含量。
2. 檢測的范圍是1～512原子量。
包含十萬余種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)氣體。
3. 其幾種主要?dú)夥?如水汽、氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻錃狻⒍趸嫉?的準(zhǔn)確度在5%以內(nèi)。
4. 具有較高檢測靈敏度，水汽達(dá)到100ppm，其余氣氛達(dá)到10ppm。
5. 針尖：150um；4mm*2mm；
應(yīng)用
驗(yàn)證封裝工藝是否按照預(yù)期設(shè)計要求進(jìn)行相應(yīng)氣體成份封裝；防止有害氣氛比例過高（如水汽）導(dǎo)致器件失效
X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀
流變儀
