清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
規格型號ContourGT-Ku
生產公司德國BRUKER公司
[主要參數]
1.雙LED光源(白光和綠光)中
2. 最大垂直測里范圍:10mm
3. 垂直分辨率:<0.01nmRa
4. RMS重現性: 0.01nm
5.垂直掃描速度:可達47微米秒
6.橫向分辨率: 0.38 ume
7.傾斜調制范圍: +6° (Tp/Tilt)
8. 視場范圍: 8.24mm至0.05mm
9. 臺階測試精度: 0.75%樣品臺
10.移動范圍: 150mm(XY 軸)100rm(Z軸);
11.反射率范圍: 0.05%至100%
12.視場范圍:從0.1mmx 0.07mm至1 9mmx 1.5mm
13.像素點: 1280x960
14.最小采樣間距: 0.08um
15.物鏡: 2.5X，10X 50XJ
[應用范圍]
1.可對樣品的表面進行三維形貌成像，可測里樣品表面的各種尺寸;
2.可以獲得表面形貌、粗糙度、三維輪廓等精準數據。
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