清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
ASTRUM 高分辨輝光放電質譜儀
AstruM高分辨率輝光放電質譜儀是分析高純物質雜質元素的低級儀器，廣泛的得到高純金屬，半導體，光伏產業，鋼鐵等等行業的認可，檢測的極限可以達到固體含量的ppt水平，支持無標準分析，低溫樣品池設計，低熔點的金屬。
高分辨率輝光放電質譜儀主要用于高純材料的雜質分析，例如高純Si，As， Ge， Cu， Ga， Nb， Ta， 稀土等等，還有陶瓷，玻璃，功能材料等等，是半導體行業，材料行業，冶金行業，等等不可缺少的儀器
技術參數：
連續可調高分辨率
<1cps的背景
主要特點：
連續可調高分辨率
低背景，包括低質量數端的背景
針狀，片狀樣品
高靈敏度，低檢測限連續
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X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質譜儀
流變儀
